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FS4000微型空气流量传感器

产品时间:2020-08-20

简要描述:

FS4000微型空气流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)

FS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围最大到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。

FS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围最大到50SLPM;可用于麻醉设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等

FS4000微型空气流量传感器产品特点:

   - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计

  - 支持多种连接方式,易于安装与使用

  - 传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量

  - 在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高

  - 输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

  - 零点稳定度高

  - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

  - 低功耗、低压损

  - 响应速度快

FS4000微型空气流量传感器机械尺寸:

性能参数

FS4003

FS4008

单位

通径

3

8

mm

大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1

精度

±(1.5+0.2FS)

%

重复性

0。5

%

零点输出飘移

±30

mV

输出飘移

0。12

%/oC

响应时间

10(默认、20、50、100、200、500、1000可设置)

ms

工作电源

8~24Vdc,50mA

输出方式

线性,RS232/模拟电压0。5~4。5Vdc

大流量压损

100

600

pa

大工作压力

0.5

MPa

工作温度

-10 ~ +55

oC

存储温度

-20 ~ +65

oC

工作湿度

<95%RH(无结冰、无凝露)

机械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头

校准方式

空气(或其他气体),20oC,101.325kPa

重量

52(带R1/4,BSPT1/4接口)
71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头)

g

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